Представляет Научно-исследовательский институт
физических измерений
ТЕХНОЛОГИЯ КОНСТРУИРОВАНИЯ И ПРОИЗВОДСТВА ДАТЧИКОПРЕОБРАЗУЮЩЕЙ АППАРАТУРЫ
Баринов И. Н., Федулов А. В., Волков В. С. Высокотемпературные датчики абсолютного давления на структуре “поликремний–диэлектрик” с улучшенными метрологическими характеристиками … 2
Описано применение структуры “поликремний–диэлектрик” для создания высокотемпературных датчиков абсолютного давления. Предложены конструктивно-технологические решения для снижения температурной зависимости и устранения дрейфа выходного сигнала благодаря использованию многоэлементной мостовой схемы и усовершенствованной технологии диффузионной сварки.
Ключевые слова: структура “поликремний–диэлектрик”, высокотемпературный полупроводниковый датчик абсолютного давления, многоэлементная мостовая схема, полость опорного давления, диффузионная сварка.
Barinov I. N., Fedulov A. V., Volkov V. S. The methods of the high-temperature pressure sensors with “polysilicon–insulator” structure making with improving metrological performances
The applications of “polysilicon–insulator” structure for high-temperature absolute pressure sensors are described. The methods to decrease the temperature dependence and output signal drift by using the multiunit bridge circuit and anodic bonding upgrading are suggested.
Keywords: “polysilicon – insulator” structure, high-temperature absolute pressure sensor, multiunit bridge circuit, reference cavity, anodic bonding.
Баринов И. Н., Волков В. С., Баринов Н. И. Датчики давления на основе резонансного преобразователя с повышенной временной стабильностью метрологических и эксплуатационных характеристик … 6
Рассмотрены характеристики применяемых в настоящее время резонансных преобразователей давления, предложена конструкция резонансного преобразователя c повышенной стабильностью характеристик.
Ключевые слова: датчик давления, кремниевый резонансный преобразователь, тензорезистор, обратная связь, сила Лоренца.
Barinov I. N., Volkov V. S., Barinov N. I. Pressure sensor on base of resonance transducer with increased metrological and operating performance time stability
The article describes modern pressure resonance transducer performances. The resonance transducer construction in possession of increasing performance are proposed.
Keywords: pressure sensor, silicone resonance converter, strain gauge, feedback, lorentz force.
Дмитриенко А. Г., Трофимов А. А. Анализ инструментальных погрешностей базовых конструкций растровых чувствительных элементов датчиков перемещений … 9
Проведен анализ инструментальных погрешностей растровых электромагнитных датчиков перемещений, определены пути их уменьшения. Предложена систематизация инструментальных погрешностей, вызванных отклонением фактических значений размеров от номинальных. Приведены основные выражения для расчета эксцентриситета статора, биения ротора, эллипсности и конусности.
Ключевые слова: датчики перемещений, систематизация, растровое сопряжение, инструментальная погрешность, чувствительный элемент.
Dmitrienko A.G., Trofimov A. A. Analysis of instrumental inaccuracies of basic designs of raster sensitive elements of mechanical motion transducers
The analysis of instrument errors for raster electromagnetic displacement transducers is carried out, the ways of their reduction are defined. Ranging for instrument errors caused by a deviation of actual size values from the nominal ones is offered. The basic expressions for calculation of stator off-set, rotor run out palpation, ovality and degree of taper are given.
Keywords: displacement transducers, ranging, raster interfacing, the instrument error, sensitive element.
Чебурахин И. Н., Ворожбитов А. И. Оценка адгезии тонких пленок в структуре "металл – диэлектрик" … 12
Предложен процесс оценки качества сцепления диэлектрических пленок через подслой хрома с подложкой и между собой. Представлены результаты экспериментальных исследований и их анализ.
Ключевые слова: упругий элемент, напыление, диэлектрики, адгезия, напряжение, окисление.
Cheburahin I. N., Vorozhbitov A. I. Adhesion evaluation of thin films in “metal-insulator” structures
Quality estimation process of dielectric films bonding between each other and by means of chrome intermediate layer with a substrate is presented.
Keywords: elastic member, evaporation, dielectric, adhesion, voltage, oxidation.
Попченков Д. В., Кучумов Е. В. К построению модели технологического процесса напыления тонких пленок вакуумным испарением … 14
Предпринята попытка очертить круг явлений и законов, позволяющих в дальнейшем построить математическую модель процесса напыления тонких плёнок вакуумным испарением.
Ключевые слова: математическое моделирование, напыление тонких плёнок, вакуумное испарение.
Popchenkov D. V., Kuchumov Ye. V. Development of mathematical model of thin film deposition by vacuum evaporation
This article defines few basic principles needed for development of elementary mathematical model of thin film deposition by vacuum evaporation.
Keywords: mathematical modeling, thin film deposition, vacuum evaporation.
Чебурахин И. Н., Хошев А. В., Торгашин С. И. Анализ качества тонкопленочных гетероструктур МДМ … 19
Представлены результаты исследований способов оперативной оценки качества тонкопленочных тензоструктур в системе металл–диэлектрик–металл (МДМ), полученных методом распыления в вакууме на металлических подложках – упругих элементах (УЭ), используемых для изготовления датчиков давления. Показано, что предложенные решения при значительном сохранении времени и затрат позволяют оценивать дефектность (раковины, поры, инородные включения и др.) как на рабочей поверхности отполированного УЭ, так и послойно в тонкопленочной структуре МДМ на этапах отработки технологии, а также при анализе некондиционных ЧЭ, появляющихся в процессе производства.
Ключевые слова: упругий элемент, чувствительный элемент, диэлектрик, напыление, схема, полировка, поры, раковины, включения, изоляция, дефекты.
Cheburakhin I. N., Hoshev A. V., Torgashin S. I. Quality analysis for thin-film MDM heterostructures
Research results for methods of effective quality evaluation of thin-film tensostructures in the metal–dielectric–metal (MDM) system, these structures having been obtained by spraying in vacuum method on the metal substrates – spring elements used for pressure sensors manufacturing have been given. It’s shown that these offered solutions while making it possible to save large amounts of time and money, make it also possible to evaluate presence of defects (air pockets, voids, foreign inclusions) not only on the operating surface of smooth spring element, but also layer-by-layer in a thin-film MDM structure at the stages of validation through elaboration of technology and analysis of off-grade sensing elements which can arise while manufacturing.
Keywords: spring element, sensing element, dielectric, spraying, circuit, smoothing, air pockets, voids, foreign inclusions, insulation, defects.
Чебурахин И. Н., Колосов П. А. Способ повышения стабильности тонкопленочных тензорезисторов … 23
Исследована возможность применения импульсных электрических нагрузок определенной амплитуды и длительности при изготовлении металлопленочных датчиков с тонкопленочными тензорезисторами. Дано описание механизма воздействия импульсов напряжения при обработке резистивного слоя на этапах стабилизации и юстировки сопротивлений тонкопленочных тензорезисторов. Сформулированы конкретные рекомендации по практическому применению технологии импульсной обработки.
Ключевые слова: импульс напряжения, тонкопленочный тензорезистор, стабилизация, юстировка сопротивления, длительность импульса, тепловой импульс.
Cheburakhin I. N., Kolosov P. A. The way to increase reliability of thin-film resistive strain gages
The possibility of usage of pulsed electric loads with certain magnitude and duration while manufacturing metal-film sensors with thin-film resistive strain-gages has been analyzed. Description of mechanism of voltage impulse influence while processing the resistive layer at the stages of steadying and resistance setting of thin-film resistive strain gages has been given. Certain recommendations for application in practice of pulse processing technology have been formed.
Keywords: voltage impulse, thin-film resistive strain gage, steadying, resistance setting, pulse width, heat pulse.
Ефремов Е. В. Опыт проектирования, комплектования и внедрения комплекса автоматизированной лазерной пайки … 26
Рассмотрены некоторые особенности элементной базы, используемой в ракетно-космической промышленности, существующие технические решения сборки печатных плат, примененные в разрабатываемых в отрасли датчиках и системах. Намечены пути дальнейшего развития технологии монтажа печатных плат ОАО “НИИФИ”, а также путь решения существующих проблем, выбранный предприятием.
Ключевые слова: комбинированный монтаж, комплекс автоматизированного монтажа, поверхностный монтаж.
Efremov E. V. Design, complete setting and introduction experience for automatized laser-assisted soldering set
Different peculiarities of hardware components used in space-and-rocket engineering, existing engineering solutions for PCB insertion, used in designed sensors and systems have been examined. The ways for further development of printed board assembly technique in “NIIFI”, JSC, and the way which the enterprise has chosen to solve some existing problems, have been outlined.
Keywords: multiple-unit assembly, automated assembly set, surface-mounted assembly.
ОБЕСПЕЧЕНИЕ КАЧЕСТВА И НАДЕЖНОСТИ ДАТЧИКОПРЕОБРАЗУЮЩЕЙ АППАРАТУРЫ
Дмитриенко А. Г., Измайлов В. В., Блинов А. В. Совершенствование системы менеджмента качества в ОАО “НИИФИ” … 30
Рассмотрены основные этапы совершенствования системы менеджмента качества ОАО “НИИФИ”.
Ключевые слова: менеджмент качества, мониторинг процессов, деятельность по улучшениям.
Dmitrienko A. G., Ismailov V. V., Blinov A. V. Development of quality management system in “NIIFI”, JSC
The main steps in development of quality management system in “NIIFI”, JSC have been analyzed.
Keywords: quality management, process monitoring, development efforts.
Катков А. Н., Новиков В. Н. Перспективы создания системы автоматизированного проектирования датчикопреобразующей аппаратуры … 33
Показана актуальность создания системы автоматизированного проектирования интеллектуальных датчиков, приведены задачи по разработке интеллектуальных датчиков и структура системы автоматизированного проектирования.
Ключевые слова: интеллектуальный датчик, система автоматизированного проектирования.
Katkov A. N., Novikov V. N. Opportunities for creation of automated design system for sensing and transducing instrumentation
The creation of the automated design system for smart sensors is shown; the objectives of the smart sensor development and the automated design system structure are given.
Keywords: smart sensor, automated design system.
Дмитриенко А. Г., Папко А. А., Кирянина И. В., Торгашин С. И. Об исследовании повторяемости и воспроизводимости метрологических характеристик прецизионных акселерометров … 36
Представлены результаты оценки повторяемости метрологических характеристик прецизионных акселерометров в условиях производства ОАО “НИИФИ” и их воспроизводимости в условиях измерений предприятия-потребителя. Определены технические решения, обеспечивающие соответствие установленным требованиям по повторяемости и воспроизводимости.
Ключевые слова: повторяемость, воспроизводимость, прецизионный акселерометр, измерения.
Dmitrienko A. G., Papko A. A., Kirjanina I. V., Torgashin S. I. On the research of frequency and precision of metrological characteristics of precision accelerometers.
Evaluation report on frequency of metrological characteristics of precision accelerometers in conditions of “NIIFI”, JSC production and on their precision in the measuring conditions of consumer enterprise has been given. Engineering solutions to ensure compliance with the given requirements on frequency and precision have been defined.
Keywords: frequency, precision, precision accelerometer, measurement.
Богомолов А. И., Семкин А. Н., Семина И. А., Плющ А. А. К вопросу решения некоторых измерительных задач в интересах вооружения, военной и специальной техники, а также объектов военной инфраструктуры … 39
Рассмотрены некоторые вопросы решения измерительных задач в интересах Вооруженных сил РФ. Показаны отдельные требования к измерительным системам вооружения, военной и специальной техники и объектов военной инфраструктуры.
Ключевые слова: вооружение, военная и специальная техника, измерительные задачи, испытания, сохранность боеприпасов, безопасность хранения боеприпасов.
Bogomolov A.I., Semkin A. N., Semina I.A., Plyushch A.A. On an issue of a solution of some measurement problems for the benefit of the armament, military and special equipment and also of military infrastructure objects
Some issues of a solution of measurement problems for the benefit of RF Armed forces are considered. Individual requirements to measurement systems of the armament, military and special equipment and military infrastructure objects are shown.
Keywords: armament, military and special equipment, measurement problems, tests, ammunition safety, safety of ammunition storage.
СОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ СТРУКТУРЫ ПРЕДПРИЯТИЯ.
КАДРОВАЯ ПОЛИТИКА
Дмитриенко А. Г., Блинов А. В., Баринов И. Н., Мусаев Р. Ш. Центр проектирования унифицированных микроэлектронных датчиков для работы в особо жестких условиях эксплуатации … 42
Представлены актуальность, задачи и предполагаемые результаты работ создаваемого на базе ОАО “НИИФИ” центра проектирования унифицированных микроэлектронных датчиков для работы в особо жестких условиях эксплуатации.
Ключевые слова: дизайн-центр, особо жесткие условия, микроэлектронные датчики.
Dmitrienko A. G., Blinov A. V., Barinov I. N., Musayev R. Sh. Microelectronic sensors projection center for harsh environment applications
A currency, problems and supposed results of the microelectronic sensors projection center for harsh environment applications are showed.
Keywords: projection center, harsh environment, microelectronic sensors.
Кругляков А. А., Корсун Е. В. Кадровая политика в ОАО “НИИФИ” … 45
Решение проблемы нехватки молодых квалифицированных кадров в результате проводимой в ОАО “НИИФИ” кадровой политики. Показаны эффективные пути решения как проблемы привлечения молодых специалистов, так и сохранения высококвалифицированных работников так называемого среднего возраста.
Ключевые слова: кадровый голод, социально-психологический климат, кадровая политика, подготовка кадров, кадровый потенциал.
Krugljakov A. A., Korsun E. V. Manpower situation at “NIIFI”, JSC
Everywhere in rocket-and-space industry one suffers from lack of young qualified manpower. As a result of “NIIFI” personnel policy it’s been possible to find effective ways of solving the problem of involving not only young qualified manpower, but also the so-called middle aged specialists.
Keywords: personnel hunger, psychosocial climate, personnel policy, manpower training, HR potential.
Дмитриенко А. Г., Варюшин Ю. М., Кастеров В. М., Трофимов А. А. Подготовка научных кадров на базе учебно-научного центра ОАО “НИИФИ” … 47
Представлена информация о работе учебно-научного центра, сформированном на ОАО “НИИФИ”. Рассмотрены вопросы целевой подготовки молодых инженерных кадров в области приборостроения.
Ключевые слова: учебно-научный центр, целевая подготовка, аспирантура, докторантура, ОАО “НИИФИ”.
Dmitrienko A. G., Varjushin Y. M., Kasterov V. M., Trofimov A. A. Scientific manpower training on the basis of “NIIFI” educational and scientific centre
The information on the educational and scientific centre organized on the basis of “Research Institute for Physical Measurements”, Joint Stock Company, is given. The questions of target training of young engineering manpower for instrument making industry have been discussed.
Keywords: educational and scientific centre, target training, postgraduate studies, doctoral studies.
ИЗМЕРЕНИЯ, КОНТРОЛЬ, АВТОМАТИЗАЦИЯ (журнал в журнале)
Гребенюк Е. А., Ицкович Э. Л. Определение расходов производственных продуктовых и энергетических потоков … 50
Рассматриваются различные способы оценки значений мгновенных расходов и суммарных расходов за заданные интервалы времени продуктовых и энергетических потоков, перемещаемых по путепроводам между участками производства. Приводятся алгоритмы определения мгновенных и суммарных значений расходов потоков и погрешностей полученных значений. Обсуждаются способы повышения достоверности определенных значений.
Ключевые слова: расчет расходов производственных потоков, погрешность значений расходов потоков, достоверность значений расходов.
Grebenyuk E.A., Itskovich E.L. Determination of a consumption of manufacturing product and energy flows
Different methods of an evaluation of values of instantaneous consumptions and aggregate consumptions for given time intervals of product and energy flows, moving through passes between manufacturing areas, are considered. Algorithms of a determination of instantaneous and aggregate consumptions of flows and inaccuracies of calculated values are given. Methods of an increase of a reliability of determined values are discussed.
Keywords: determination of a consumption of manufacturing flows, inaccuracy of values of consumption of flows, reliability of consumption values.
Библиография + …57
Приглашение к представлению докладов на конференции и симпозиумы … 58
* * *
Contents and abstracts … 59